Mae Fraunhofer HHI yn Dewis System Sputter Veeco

Sefydliad ymchwil telathrebu optegol yn gorchymyn system sputtering trawst ïon i greu haenau wyneb laser a dyfeisiau micro-optegol.

Bydd HHI yn defnyddio technoleg IBS Veeco i greu haenau wyneb laser.

Offerynnau Veeco wedi cyhoeddi ei fod wedi cludo ei system Sputtering Beam Ion Spector (IBS) a System Monitor Optegol Sirius i'r Sefydliad Fraunhofer ar gyfer Telathrebu(HHI).
Dywed y sefydliad, sydd wedi’i leoli yn Berlin, yr Almaen, y bydd yn defnyddio’r dechnoleg IBS hon “i ddatblygu a chynhyrchu haenau wyneb laser a dyfeisiau micro-optegol eraill”.
“Mae datblygu dyfeisiau micro-optegol soffistigedig yn gofyn am dechnoleg sputtering eithriadol,” meddai Greta Ropers, pennaeth backend a grŵp pecynnu Fraunhofer.
“Bydd system Spector Veeco, ynghyd ag OMS Sirius, yn sicrhau ein bod yn datblygu ac yn cynhyrchu dyfeisiau o safon fyd-eang gyda’r trwybwn uchaf ac ailadroddadwyedd prosesau ar blatfform sefydledig awtomataidd.”

Ffilmiau tenau optegol
Mae platfform Spector yn cynhyrchu ffilmiau tenau optegol o ansawdd uchel gyda lefelau gwell o gynhyrchiant a thrwybwn, yn ôl cwsmeriaid. Yn wahanol i haenau anweddu, mae ffilmiau tenau sputtered trawst ïon yn cael eu hadneuo ar egni uchel, gan roi rheolaeth drwch eithriadol a dwyseddau diffyg isel ar gyfer cymwysiadau cotio laser. Mae Sirius OMS yn gwella gallu platfform Spector trwy gyplysu rheolaeth monitro band eang â sefydlogrwydd ffilmiau a adneuwyd â thrawst ïon. .
“Arweinydd byd-eang Fraunhofer HHI wrth ddatblygu haenau wyneb laser y genhedlaeth nesaf a dyfeisiau micro-optegol,” meddai Dr. Adrian Devasahayam, is-lywydd a rheolwr cyffredinol busnes Adneuo Uwch ac Etch (AD&E) Veeco. “Mae'r system Spector yn darparu ansawdd a hyblygrwydd heb ei ail ar gyfer ffilmiau tenau cotio optegol manwl gywir, a bydd yn cyflymu eu nodau datblygu.”
Rhoddwyd cyllid ar gyfer y prosiect hwn gan y Forschungsfabrik Mikroelektronik, ffatri ymchwil traws-leoliad ar gyfer microelectroneg a nanoelectroneg, gan gyfaddawdu un ar ddeg o sefydliadau yn y Fraunhofer Group ynghyd â'r Innovations for High Performance Microelectronics a'r Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik. Gwerthwyd y system mewn cydweithrediad â phartner sianel Ewropeaidd Veeco,Technolegau Veonis.